共聚焦显微镜是以共轭共焦技术为基础研制而成的用于样品表面3D微观形貌检测的精密光学仪器。
特点：
非接触式无损检测，复杂结构的大角度形貌测量能力，优异的横向分辨率，低反射率表面的适应性强。
用途：
1.广泛应用于对器件表面质量要求极高的光伏太阳能、半导体封装、激光加工、光学膜材、3C产业链等高端制造业，同时在航空航天、国防工业以及科学研究等领域也存在普遍使用。
2.可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。
基本原理：
白光LED光源+多孔共聚焦+CCD影像摄取
由LED光源发出的光束经过一个多孔盘和物镜后，聚焦到样品表面。之后光束经样品表面反射回测量系统。再次通过MPD上的针孔时，反射光将只保留聚焦的光点。最后，光束经分光片反射后在相机上成像。
测量原理：
测量表面形貌高度时，通过自动移动焦点位置获取多个共焦图像。根据非连续的焦点位置（Z）和检测光强度（I）系统可以估算每个像素的光强变化曲线（I-Z曲线），并获得其峰值位置和峰值强度。由于所有像素的峰值位置与样品表面的不规则性相对应，因此可以获得样品表面的3D形貌信息。通过峰值强度数据可以获得样品表面所有位置均对焦的图像。
多种测量模式：单区域、多区域、拼接、自动化等多种测量模式
二维影像尺寸测量：平面轮廓尺寸一键测量，可标注距离、角度、直径、半径、圆度等轮廓特征
仪器规格：
仪器整体由一台设备主机和电脑构成，控制单元集成在设备主机之内
粤公网安备44030002002762号