本平台可搭配各品牌测量头使用。根据客户需求，提出各种大型、特殊载物台的方案。可测量大型印刷电路板或无法放在载物台上的外装零件等。 本设备采用具有超强物理稳定性的花岗岩作为底座基材，精密电动平台采用精密加工处理搭配空气止震系统，使得平台运动精准及稳定性高。X/Y/Z 马达驱动系统、电控系统、气压止震系统(可选配)、精密花岗石平台面及设备安全外罩(可选配)等所組成。 X、Y轴有效行程（电动）：300mmx300mm（可按需定制行程） X、Y轴驱动形式：1um/pulse 定位重现性：≦±5um Z轴行程（电动）：≦100mm（可按需定制行程） Z轴驱动形式：伺服马达系统搭配精密螺桿 Z轴最小解析度：0.1um/pulse 对焦类型：电动式对焦 机械结构：精密丝杆加马达驱动 主体材质：铝合金（Aluminumalloy）（表面做特殊处理） 承受负重：约20kg 避震系统：气垫式避震 自然频率(垂直/水平)：2~2.3Hz 获取更多产品信息，请与我司销售人员联系！