三维测量
丰富的测量工具,能在生产现场和质量检测中提供出色的测量精度,可用于各种零件的3D尺寸的检测。
  • 共聚焦显微镜
    共聚焦显微镜是以共轭共焦技术为基础研制而成的用于样品表面3D微观形貌检测的精密光学仪器。 特点:非接触式无损检测,复杂结构的大角度形貌测量能力,优异的横向分辨率,低反射率表面的适应性强。 用途: 1、广泛应用于对器件表面质量要求极高的光伏太阳能、半导体封装、激光加工、光学膜材、3C产业链等高端制造业,同时在航空航天、国防工业以及科学研究等领域也存在普遍使用。 2、可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。
  • 红外三维轮廓仪
    微纳米三维形貌一键测量 特点: 大范围红外三维轮廓仪是一种新的干涉成像技术,和传统的高精密3D成像技术相比,具有高精度、大动态范围、大视野、高速及低成本的优点, 目前仅有我司在国内形成了设备产品化。 用途: 1 、该技术的纵向分辨率可使用两种工作模式: • 亚微米分辨率,应用于3C、汽车、精密加工及医疗等行业 • 纳米分辨率,半导体行业 2 、以该技术为平台,可以开发的应用: • 高精度表面轮廓成像,粗糙度测量等 • 膜厚测量 • 高精度定位及位移测量